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发明名称 Apparatus and method for processing substrates
摘要
申请公布号 EP0786804(A3) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 EP19960309550 申请日期 1996.12.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YE, YAN;YIN, GERALD ZHEYAO;MA, DIANA XIABING;MAK,STEVE S.Y.
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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