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发明名称 MIRROR FOR EXCIMER LASER
摘要
申请公布号 JPH09265005(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960072749 申请日期 1996.03.27
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIRAI TAKESHI;AMIHOSHI JUNJI
分类号 G02B5/08;(IPC1-7):G02B5/08 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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