| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING METALLIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09266195(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960072744 |
申请日期 |
1996.03.27 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
KASAI MASARU;ONODA TOSHIYASU;FURUMITO JIYUNSUKE |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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