发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09266248(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960074225 申请日期 1996.03.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAGI YOSUKE;ENDO KOICHI
分类号 H01L21/762;H01L21/74;H01L21/761;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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