| 发明名称 |
REMOVAL METHOD OF RESIST, AND ADHESIVE AND BONDING SHEETS USED FOR IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09266162(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960075633 |
申请日期 |
1996.03.29 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORP |
发明人 |
MATSUMURA TAKESHI;OKAWA YUJI;YAMAMOTO TAKAYUKI |
| 分类号 |
G03F7/42;C09J5/00;C09J7/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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