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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09266253(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960073727 申请日期 1996.03.28
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KATO YOSHIHIKO
分类号 H01L21/768;H01L21/306;H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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