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经营范围
发明名称
WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH09266187(A)
申请公布日期
1997.10.07
申请号
JP19960074846
申请日期
1996.03.28
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUI ATSUSHI
分类号
B08B1/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B1/04
代理机构
代理人
主权项
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