| 发明名称 |
VACUUM TREATMENT AND VACUUM TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09263931(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960096311 |
申请日期 |
1996.03.25 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
KAMEI TOSHIHIRO;MATSUDA AKIHISA;UCHIYAMA TOYOJI;AMANO SHIGERU |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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