发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09266192(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960076044 申请日期 1996.03.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMADA SHINICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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