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发明名称 METHOD FOR INSPECTION OF PATTERN FLAW AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09264729(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960076198 申请日期 1996.03.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INOUE HIROSHI
分类号 G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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