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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09266190(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960073726 申请日期 1996.03.28
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TOUCHI KOJI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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