发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD FOR TESTING IT
摘要
申请公布号 JPH09264928(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960074848 申请日期 1996.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 OGAWA TADAHIKO
分类号 G01R31/28;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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