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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH09266318(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960076014 申请日期 1996.03.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 URAOKA YUKIHARU;MICHIBAYASHI AKIKO;KAWAMURA TETSUYA;TSUTSU HIROSHI;YOSHIOKA TATSUO;FURUTA MAMORU;MAEKAWA SHIGEKI;MIYATA YUTAKA
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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