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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09266203(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960073733 申请日期 1996.03.28
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TANAKA KAZUO
分类号 H01L21/316;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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