发明名称 APPARATUS FOR PULLING SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR PULLING SINGLE CRYSTAL USING THE SHAME DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09263481(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960076439 申请日期 1996.03.29
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 INAMI SHUICHI
分类号 C30B15/10;C30B15/14;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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