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发明名称 METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS FOR GROWING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09263479(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960077025 申请日期 1996.03.29
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 IZUMI TERUO
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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