| 发明名称 |
MANUFACTURE OF AMORPHOUS SEMICONDUCTOR FILM, AND MANUFACTURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09266174(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960076140 |
申请日期 |
1996.03.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KITAGAWA MASATOSHI;SUGAI HIDEO |
| 分类号 |
C01B33/02;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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