发明名称 Prozess zur Herstellung einer dünnen supraleitenden Oxyd-Schicht
摘要
申请公布号 DE69127425(D1) 申请公布日期 1997.10.02
申请号 DE1991627425 申请日期 1991.11.15
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;HATTORI, HISAO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C23C14/08;C23C14/28;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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