| 发明名称 |
EXIT WINDOW FOR X-RAY LITHOGRAPHY BEAMLINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0797830(A1) |
申请公布日期 |
1997.10.01 |
| 申请号 |
EP19950943093 |
申请日期 |
1995.12.08 |
| 申请人 |
GRUMMAN AEROSPACE CORPORATION |
发明人 |
KOVACS, STEPHEN |
| 分类号 |
G21K5/00;G03F7/20;G21K5/02;H01J5/18;H01L21/027;H05H7/00;(IPC1-7):G21K1/00 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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