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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR PREPARING SAME
摘要
申请公布号 EP0553856(A3) 申请公布日期 1997.10.01
申请号 EP19930101417 申请日期 1993.01.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SAKAGUCHI, KIYOFUMI;YONEHARA, TAKAO;MIYAWAKI, MAMORU
分类号 H01L21/20;H01L21/306;H01L21/762;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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