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发明名称 ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP0797844(A2) 申请公布日期 1997.10.01
申请号 EP19960931939 申请日期 1996.10.11
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 HARKIN, GERARD, F.;YOUNG, NIGEL, D.
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/265;G02F1/133 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
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