Method of patterning a layer,申请号EP19910306294-传众专利搜索

发明名称	Method of patterning a layer
摘要
申请公布号	EP0470707(B1)	申请公布日期	1997.10.01
申请号	EP19910306294	申请日期	1991.07.11
申请人	AT&T CORP.	发明人	ZIGER, DAVID H.
分类号	H01L21/302;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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