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发明名称 MICROSTRUCTURED BODY GRADUAL CONSTRUCTION PROCESS AND THUS PRODUCED MICROSTRUCTURED BODIES
摘要
申请公布号 EP0797790(A1) 申请公布日期 1997.10.01
申请号 EP19950900717 申请日期 1994.11.11
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH;MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH 发明人 SCHUBERT, KLAUS;NEUMANN, HEIKE;SCHULZ, JOACHIM;BIER, WILHELM;KAPITZA, NORBERT
分类号 B29C67/00;F15C5/00;F16K99/00;G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/00;G03F7/095;F15C3/04 主分类号 B29C67/00
代理机构 代理人
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