发明名称 Method and device for conformity testing of hybridization balls
摘要
申请公布号 EP0627611(B1) 申请公布日期 1997.10.01
申请号 EP19940401186 申请日期 1994.05.30
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CAILLAT, PATRICE;PARAT, GUY;NICOLAS, GERARD
分类号 H01L21/60;G01B11/14;H01L21/66;H05K13/08;(IPC1-7):G01B11/14 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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