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发明名称 INTEGRATED RESONANT MICROBEAM SENSOR AND TRANSISTOR OSCILLATOR
摘要
申请公布号 EP0797758(A1) 申请公布日期 1997.10.01
申请号 EP19950943138 申请日期 1995.12.15
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 BURNS, DAVID, W.;ZOOK, J., DAVID
分类号 G01L1/10;G01L1/14;G01L1/18;G01L9/00;G01P15/097;G01P15/10;H03H9/24;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
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