发明名称 |
PNEUMATICALLY CONTROLLED VACUUM VALVE AND CONTROL METHOD THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09257152(A) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
申请号 |
JP19960063477 |
申请日期 |
1996.03.19 |
申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
ADACHI DAISUKE |
分类号 |
F16K7/07;F16K7/17;F16K31/122;(IPC1-7):F16K31/122 |
主分类号 |
F16K7/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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