发明名称 UEHASHINKUKANSOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2657954(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19890192619 申请日期 1989.07.27
申请人 EBARA SEISAKUSHO KK 发明人 MATSUMURA MASAO
分类号 C30B33/00;B01J3/03;F26B5/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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