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发明名称 HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2659798(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19890099265 申请日期 1989.04.19
申请人 TOSHIBA KK 发明人 MIKATA JUICHI;USAMI TOSHIRO;SAMATA SHUICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/60;H01L29/43;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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