| 发明名称 |
UEHAANOKANSOKIOYOBIKANSOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2659343(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19950013144 |
申请日期 |
1995.01.30 |
| 申请人 |
HIROSHIMA NIPPON DENKI KK |
发明人 |
HAMAMOTO SHUNICHI |
| 分类号 |
F26B7/00;F26B19/00;F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F26B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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