| 发明名称 |
IIIVIZOKUKAGOBUTSUKETSUSHOBUTSUPINOYOBISONOKEISEIHOHO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JP2659746(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19880072792 |
申请日期 |
1988.03.26 |
| 申请人 |
KYANON KK |
发明人 |
TOKUNAGA HIROYUKI;YONEHARA TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/365;H01L21/36;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/36 |
主分类号 |
H01L21/365 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
