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发明名称
HANDOTAIKIBAN
摘要
申请公布号
JP2658135(B2)
申请公布日期
1997.09.30
申请号
JP19880054383
申请日期
1988.03.08
申请人
SONII KK
发明人
NIEDA AKIRA;SATO HIROSHI
分类号
H01L21/304;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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