| 发明名称 |
RIIDOTANSHIHEITANDOSOKUTEIHOHO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JP2659645(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19910354760 |
申请日期 |
1991.12.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KK |
发明人 |
DEGUCHI YOSHINOBU;MATSUI YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L23/50;H04N1/387;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
