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发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRONOREIAUTOHOHO
摘要
申请公布号 JP2658829(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19930273337 申请日期 1993.11.01
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HORIKOSHI KENGO
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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