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发明名称 FUIRUMUROKOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2657974(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19890214225 申请日期 1989.08.22
申请人 USHIO DENKI KK 发明人 SUMYA MASATO;TANAKA KAZUYA;ETO MITSUO
分类号 G02B6/00;G03F7/20;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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