| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE AND DEPOSITED FILM FORMING METHOD BY PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09256160(A) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19960068360 |
申请日期 |
1996.03.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;YAMAGAMI ATSUSHI |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01S5/00;H03H7/40;(IPC1-7):C23C16/24;H01S3/18 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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