| 发明名称 |
SURFACE-TREATING SOLUTION AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATE SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09255991(A) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19960064563 |
申请日期 |
1996.03.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHARA YOICHI;YAMAMOTO EIJI;SAITO AKIO;OKA HITOSHI |
| 分类号 |
B08B3/08;C11D7/04;C11D7/18;C11D7/26;C11D7/32;C23G1/14;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/04 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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