| 发明名称 |
NOZZLE DEVICE FOR WASHING LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09253536(A) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19960094756 |
申请日期 |
1996.03.25 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KAJIYAMA MASAAKI;SHIBAZAKI MITSUNAO |
| 分类号 |
B05B1/14;B08B3/02;B08B3/04;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B05B1/14 |
主分类号 |
B05B1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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