发明名称 TREATMENT OF HARMFUL MATERIAL IN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09256178(A) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19960093342 申请日期 1996.03.22
申请人 NEC CORP 发明人 OSHIMA NORIKAZU
分类号 C23C14/00;C23G5/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):C23G5/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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