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发明名称 MICRO-MINIATURIZED, ELECTROSTATICALLY DRIVEN DIAPHRAGM MICROPUMP
摘要
申请公布号 KR0119362(B1) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 KR19940070780 申请日期 1994.03.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 ZENGERLE, ROLAND;RICHTER, AXEL
分类号 F04B43/04;F04B53/10;(IPC1-7):F04B43/04 主分类号 F04B43/04
代理机构 代理人
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