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发明名称 DOHEITANMENNOKINZOKUSOOYOBINISANKASHIRIKONSONOKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2659918(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19940291012 申请日期 1994.11.25
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 KURAUSU DEIITORITSUCHI BEIYAA;UIRIAMU RESURII GASURII;SUTANREE RICHAADO MAAKAREUITSUKUZU;ERITSUKU MENDERU;UIRIAMU JON PATORITSUKU;KYASARIIN ARISU PERII;UIRIAMU ARON PURISUKIN;YAKOBU RAIZUMAN;HOORU MAA
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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