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发明名称 TORANJISUTANOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2659000(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19950328613 申请日期 1995.12.18
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 HIRAO TAKASHI;SETSUNE KENTARO;YOSHIDA TETSUHISA
分类号 H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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