发明名称 HANDOTAISOCHI
摘要
申请公布号 JP2659644(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19910352650 申请日期 1991.12.16
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 FUKUI KOICHI;KURODA AKIHIRO
分类号 H01L21/60;H01L23/00;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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