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发明名称 Verfahren zum Herstellen isolierender Filme, Kapazitäten und Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号 DE69125323(T2) 申请公布日期 1997.09.25
申请号 DE19916025323T 申请日期 1991.07.24
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI, SETAGAYA-KU, TOKYO 157, JP
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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