| 发明名称 |
Menetelmä perusaineen seostamiseksi seostusmateriaalilla kemiallisen yhdisteen tai lejeeringin valmistamiseksi käyttäen sputterointikatodia ja laitteisto menetelmän toteuttamiseksi |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FI99029(C) |
申请公布日期 |
1997.09.25 |
| 申请号 |
FI19920000475 |
申请日期 |
1992.02.04 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT, |
发明人 |
LATZ,RUDOLF |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
