| 摘要 |
Un conjunto de M x N espejos accionados de película delgada que presenta capas dieléctricas y método para fabricarlo en donde el conjunto incluye unamatriz activa, un conjunto de estructuras actuadoras, cada una de las estructurasactuad oras incluye un miembro elástico, un segundo electrodo depelícula delgada, un miembro electromovible de película delgada y un primer electrodo de película delgada y un número M x N de pilas multicapas demiembros dieléctricos de películadelgada. Además de la provisión de una protección contra los ataques físicos y químicos sobre el primer electrodo depelícula delgada el cual asimismo actúa como un espejo para reflejar un haz de luz, la pila multicapa de miembrosdieléctricos de pelíc ula delgada ubicadosobre la parte superior de cada una de las estructuras actuadoras provee la reflectancia máxima en cada uno de los espejos accionados de película delgadapara asegurar por lo tanto una eficiencia ópticaóptima del conjunto. |
