| 发明名称 |
Cryogenic vacuum pump with electronically controlled regeneration |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2309750(B) |
申请公布日期 |
1997.09.24 |
| 申请号 |
GB19970004594 |
申请日期 |
1994.02.23 |
| 申请人 |
* HELIX TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
ALLEN J * BARTLETT;STEPHEN J * YAMARTINO |
| 分类号 |
F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08 |
主分类号 |
F04B37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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