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1、一种用于制造光学投影系统中的M×N个薄膜致动的反射镜的一个阵列的方法，其中M、N为整数；其特征在于，该方法包括如下步骤：制备一个包含一个基板、M×N个连接端的一个阵列及M×N个晶体管的一个阵列的有源矩阵，其中各该连接端电连接在晶体管阵列中一个对应的晶体管上；在该有源矩阵的顶部淀积一个薄膜待除层；在薄膜待除层上形成M×N个空槽的一个阵列，各该空槽位于连接端的顶部周围； 在薄膜待除层的顶部淀积一个由绝缘材料构成的弹性层同时使其填在所述空槽中；在各弹性层中构成M×N个导管的一个阵列，各该导管从弹性层的顶部延伸到一个对应的连接端的顶部；在包含导管的弹性层的顶部淀积一个第二薄膜层、一个薄膜电致移位层和一个第一薄膜层，其中第二薄膜层由导电材料构成，第一薄膜层由导电并反光的材料构成；将第一薄膜层、薄膜电致移位层和第二薄膜层分别制成M×N个第一薄膜电极的一个阵列、M×N个薄膜电致移位件的一个阵列和M×N个第二薄膜电极的一个阵列的图案，直到使弹性层暴露出来，籍此，构成M×N个半致动的反射镜结构的一个阵列，各半致动的反射镜结构包括第一薄膜电极、薄膜电致移位件和第二薄膜电极；其中第二薄膜电极通过导管和连接端电连接到对应的晶体管上，并作为薄膜致动的反射镜中的一个信号电极工作，第一薄膜电极作为一块反射镜及各薄膜致动的反射镜中的一个偏压电极工作；将弹性层在纵向上制成M个伪弹性件的图案，直到薄膜待除层暴露出来，M个伪弹性件中的每一个均具有N个桥形部；制成一个薄膜保护层，以将每一个半致动反射镜结构完全覆盖起来；将薄膜待除层去除，从而构成多个驱动空间；将薄膜保护层去除；以及将M个伪弹性件在横向上制成M×N个弹性件的阵列的图案，从而构成M×N个薄膜致动的反射镜的阵列。 |
