发明名称 In-line evaporator for vacuum deposition installations
摘要
申请公布号 GB9715044(D0) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 GB19970015044 申请日期 1997.07.18
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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