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发明名称 TATEGATADENKAIKOKATORANJISUTANOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2656740(B2) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 JP19940265570 申请日期 1994.10.28
申请人 YAMAGATA NIPPON DENKI KK 发明人 ARAKI HIDEFUMI
分类号 H01L21/336;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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