| 发明名称 |
MAIKUROHAPURAZUMASHORIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2656503(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.24 |
| 申请号 |
JP19870237178 |
申请日期 |
1987.09.24 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
SAIKAI MASAHARU;MARUMOTO MAKOTO;HAMAZAKI RYOJI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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